Mit der digital holographischen Interferometrie lassen sich sowohl die Topographie der Objektoberfläche als auch dynamische Veränderungen der Objektoberfläche mit sub-µm Genauigkeit erfassen. Die Objekte können dabei reflektierend oder streuend sein. Von uns entwickelt und zum Patent angemeldet: ein miniaturisierter hochstabilisierter digital holographischer Mehrwellenlängen Sensor, der innerhalb von 1 Sekunde 100 Millionen Messpunkte erfasst. Somit stellt dieser Sensor einer der weltweit schnellsten Sensoren dar.

Die hohe Phasensensitivität der digitalen Holographie kann zur Untersuchung von Verformungen und Schwingungen genutzt werden. Die nachgelagerte Datenanalyse ermöglicht sogar Resonanzschwingungen im MHz Bereich und multimodale Schwingungen flächig mit hoher axialer und lateraler Auflösung zu erfassen. Beispielhaft ist eine metallische Scheibe dargestellt, die mit zwei Resonanzfrequenzen von 100Hz und 160Hz angeregt wurde. Die resultierenden Deformationszustände können dynamisch aufgezeichnet und sogar frequenzabh. separiert werden.

Anwendungen, die sich hierbei ergeben sind:

• Vermessung der Spannungsantwort von MEMS
• Vermessung von Piezoaktuator hochfrequenz-stimulierten Bauteilen
• Detektion und Lokalisation von Defekten, die sich unterhalb einer Deckschicht befinden